-
1 травление в плазме кислорода
Microelectronics: oxygen gas plasma etchingУниверсальный русско-английский словарь > травление в плазме кислорода
-
2 травление в плазме с ионной бомбардировкой
Microelectronics: ion-assisted plasma etchingУниверсальный русско-английский словарь > травление в плазме с ионной бомбардировкой
-
3 травление в плазме кислорода
Русско-английский словарь по микроэлектронике > травление в плазме кислорода
-
4 травление в газовой плазме низкого травления
Microelectronics: low-pressure etchingУниверсальный русско-английский словарь > травление в газовой плазме низкого травления
-
5 травление в свч-плазме
Microelectronics: microwave etchingУниверсальный русско-английский словарь > травление в свч-плазме
-
6 plasma etching
плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизованного газа)Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > plasma etching
-
7 gaseous plasma etching
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > gaseous plasma etching
-
8 фотолитография
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.Russian-English dictionary of Nanotechnology > фотолитография
-
9 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.Russian-English dictionary of Nanotechnology > photolithography
См. также в других словарях:
Травление в литографии — (англ. etching (development) in lithography) этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков подложки, покрытой тонкой… … Википедия
травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Ионизация в индуктивно-связанной плазме — Горелка аналитической ИСП, наблюдаемой через тёмное зелёное стекло (как в очках для сварки) Индуктивно связанная плазма (ИСП), англ. inductively coupled plasma плазма, образующаяся внутри горелки или иного плазменного реактора. Содержание 1… … Википедия
Плазма — У этого термина существуют и другие значения, см. Плазма (значения). Плазменная лампа, иллюстрирующая некоторые из наиболее сложных плазменных явлений, включая филаментацию. Свечение плазмы обусловлено переходом … Википедия
Плазма (агрегатное состояние) — Плазменная лампа, иллюстрирующая некоторые из наиболее сложных плазменных явлений, включая филаментацию. Свечение плазмы обусловлено переходом электронов из высокоэнергетического состояния в состояние с низкой энергией после рекомбинации с ионами … Википедия
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ — группа методов, предназначенных для придания обрабатываемой металлич. детали определенной формы, заданных размеров или св в поверхностного слоя. Осуществляется в электролизерах (электролитич. ваннах, электрохим. ячейках спец. станков, установок) … Химическая энциклопедия
Индуктивно-связанная плазма — Горелка аналитической ИСП, наблюдаемой через тёмное зелёное стекло (как в очках для сварки) Индуктивно связанная плазма (ИСП), англ. inductively coupled plasma плазма, образующаяся внутри разрядной камеры, горелки или иног … Википедия
Эстонская Советская Социалистическая Республика — Эстония (Ээсти НСВ). I. Общие сведения Эстонская ССР образована 21 июля 1940. С 6 августа 1940 в составе СССР. Расположена на С. З. Европейской части СССР, на побережье Балтийского моря, между Финским (на С. ) и Рижским… … Большая советская энциклопедия
АКТИВАЦИОННЫЙ АНАЛИЗ — (радиоактивационный анализ), метод качественного и количественного элементного анализа в ва, основанный на активации ядер атомов и исследовании образовавшихся радиоактивных изотопов (радионуклидов). В во облучают ядерными частицами (тепловыми или … Химическая энциклопедия
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… … Химическая энциклопедия
фокусированный ионный пучок — Термин фокусированный ионный пучок Термин на английском focused ion beam Синонимы Аббревиатуры FIB Связанные термины Определение концентрированный поток ионов, который используют в современных исследовательских приборах и технике для интенсивной… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
